型号: | SUPEC 2050 |
产地: | 浙江 |
品牌: | 谱育科技 |
评分: |
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产品概述SUPEC 2050半导体AMC综合监测系统由采样预处理子系统、气体监测子系统以及辅助设备和数据采集与处理子系统等构成:
采样预处理子系统:由多路样气传输管、采样泵和分布式多通道采样仪组成,可以对多个点位进行不间断实时采样,并通过管路切换实现不同采样点样气的循环监测。
气体监测子系统:由多个分析仪组成,可以根据不同的监测需求进行定制化的搭配,实现不同物质的在线监测。
辅助系统:由集成机柜和校准单元组成,可以保证整套系统的正常运行,校准单元可以定期对系统进行校准,保证监测数据的稳定和准确。
数据采集与处理子系统:可以监控查询所有测量信息和系统工作状态信息,并将监测数据传输至企业的中控平台。
性能优势
采样覆盖面广
多点位同时采样,覆盖面广,成本低,可支持200m点位监测,多点位形成网格化分析体系。
轮巡速度快
系统具备预抽功能,节约管路传输等待时间。
自由配置通道数量
系统可扩展,可自由配置采样点位数量。
样品间干扰小
具备反吹功能.确保各路样品互不影响,低残留。
样品超标留样
可搭配超标留样,系统可搭配苏玛罐留样系统,当点位污染超标时自动留样。
应用领域
半导体行业检测
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