Park 原子力 进口大样品原子力显微镜 Park NX20 300mm

Park 原子力 进口大样品原子力显微镜 Park NX20 300mm

参考价：¥250万 - 300万
型号： park NX20 300mm
产地： 韩国
品牌： Park 原子力
评分：
核心参数
Jeio Tech Co., Ltd - 上海代表处
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产品详情

可用于300mm晶片圆测量和分析的高端自动化纳米测量工具

Park NX20 300mm是业界创新型大样品原子力显微镜，支持300mm×300mm全程机动化。新升级的Park NX20系统专为失效分析和质量控制实验室设计，可有效地检测整个300mm晶圆，且无需任何繁琐的样品位移。尽管扩大了支持300mm样品的机动XY工作台，但Park的创新性振动隔离技术仍然能够将系统噪声保持在低于0.5 (Å) RMS，通常是0.3 Å RMS的水平。

经检验的原子力显微镜性能和单击-原子力显微镜自动化取消了样本调整的需求，并使Park NX20的扫描过程尽可能高效和便于使用。通过我们的“批处理模式(Program Mode)”界面，用户可以在整个300mmx300mm区域轻松实现可靠与可重复的顺序多站点测量。NX20 300 mm从而成为需要扫描大样品的FA、QA和QC工程师的理想选择。


专为大样品晶圆检测而建

NX20 300 mm进行了全新设计，可达到大样品的高精度测量。整个300mm晶圆区域可进行低噪声原子力显微镜测量分析。这开启了一个全新的自动化测量范围，让工程师可以更快捷、更简便、更精准地开展工作。


灵活的300mm样品吸盘

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Park NX20 300mm真空吸盘支持各种尺寸、形状和类型的晶圆，让用户几乎可准确扫描任何样品。


300mm XY轴工作台

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机动化的300mm XY轴工作台允许用户在300mm的全部区域内移动原子力显微镜的测量位置。


NX20支持300mm样品台，性能已被证实

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因其便捷的易用性和自动化以及不受影响的精度，NX20已是FA、QA和QC工程师的理想选择。凭借其支持300mm电动XY轴工作台的扩大平台，NX20 300mm更上一层楼，允许用户轻松地以较高的精度检测更大的样品。


Park SmartScan™让精准测量更为简单

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Park NX20配备了我们的SmartScan操作系统，是市场上易使用的原子力显微镜。通过直观且强大的界面，即便是未经培训的用户无需协助也可快速扫描大样品。这使高级工程师能够集中精力解决更大的问题和开发更好的解决方案。

a  在完整300mm晶圆上扫描多个位点

SmartScan™允许用户从位点到位点和样品到样品的层面上，借助基于网格和晶圆的模式，进行自动顺序测量与表面形态、高度和表面粗糙度的比较。这可以大大提高扫描大样品时的用户便利性和生产效率。

b  强大的工作创建功能

格式创建流程简单，允许工程师设置每个批次的位置、名称、数量和类型所定义的预设。


针对广泛应用性进行优化

NX20 300mm为众多应用提供自动格式的原子力显微镜测量，为纳米级的样品提供精准测量和分析。具有粗糙度、高度和深度测量，缺陷检查，电气和磁故障分析，热性能表征和纳米力学性能成像等能力，该原子力显微镜是检测大样品的FA、QA和QC工程师执行各种任务的理想选择。

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参数

扫描器
Z扫描器
XY扫描器

柔性引导高推动力扫描器


扫描范围: 15μm (可选30μm)

高度信号噪声等级: 30 pm

0.5 kHz bandwidth, rms (typical)

闭环控制的柔性引导XY扫描器

扫描范围: 100μm × 100μm
驱动台Z位移台行程范围 聚焦样品台行程范围XY位移台行程范围
25mm (Motorized)8mm (Motorized)300mm × 300mm (Motorized)
样品架样品尺寸样品重量
100、150、200、300晶圆，小样品磁性样品架，厚度可达20mm
< 500 g
光学10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µm分辨率)

样品表面和悬臂的直观同轴影像

视野CCD

840 × 630μm (带10倍物镜)500万像素 
软件SmartScanTMXEI

AFM系统控制和数据采集的专用软件

自动模式、手动模式

用于自动配方、顺序多点测量 AFM 操作的程序模式

AFM数据分析软件
电子集成功能信号处理
连接外部信号

4通道数字锁相放大器

数据Q控制

ADC :18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor

DAC :17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning

Maximum data size :4096 x 4096 pixels

20个嵌入式输入/输出端口
5个TTL输出 :EOF, EOL, EOP, 调制和交流偏压
AFM模式(*可选项）标准成像
力测量
介电/压电性能

真正非接触式原子力显微镜

PinPoint™ 原子力显微镜

接触式原子力显微镜

横向力显微镜 (LFM)

相位成像

轻敲式原子力显微镜

力-距离(F/d)光谱
力谱成像

静电力显微镜(EFM)

动态接触式静电力显微镜(EFM-DC)

压电力显微镜(PFM)

高压压电力显微镜*

机械性能磁学特性*
电性能
力调制显微镜(FMM)

纳米压痕*

纳米刻蚀*

高压纳米刻蚀*

纳米操纵*

磁力显微镜(MFM)

可调制磁力显微镜

导电原子力显微镜(C-AFM)*

IV谱线*

扫描开尔文探针显微镜(KPFM)

扫描电容显微镜(SCM)*

扫描电阻显微镜(SSRM)*

扫描隧道显微镜(STM)*

光电流测绘 (PCM)*

化学性能*

功能化探针的化学力显微镜

电化学显微镜(EC-AFM)



AFM选项
主动温控隔音罩样品盘集成编码器的自动载台
创新的控制设计使Park NX20能够快速达到温度平衡。
NX20具有主动隔振功能。		用于电气测量的专用小样品架
用于固定晶圆的真空槽		XY马达运动工作时分辨率为1μm，重复率为2μm。
Z马达运动的分辨率为0.1μm，分辨率为1μm。
温度控制

温控台 1: -25℃ to +170℃
温控台 2: Ambient to +250℃
温控台 3: Ambient to +600℃



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