Kashiyama 樫山工业 大尺寸晶片和FPD真空泵 SDL12E50/60|SDL20E60

Kashiyama 樫山工业 大尺寸晶片和FPD真空泵 SDL12E50/60|SDL20E60

参考价：¥10万 - 20万
型号： SDL12E50/60|SDL20E60|SDL36E60
产地： 日本
品牌： 樫山工业
评分：
核心参数
Jeio Tech Co., Ltd - 上海代表处
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产品详情

产品特点：

  • 适用于大尺寸晶片和 FPD

    可通过组合提供大容量，也可根据需要提供大于 150kL/min 的大容量

  • 周期更短

    大气压左右的大容量可实现高速泵送，最适合大腔体


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产品参数：

型号SDL12E50/60SDL20E60SDL36E60
抽气速率
25000L/min40000L/min60000L/min
极限压力0.8Pa
电源要求3Phase AC200-220V, 380-480V
尺寸（L*W*H）
1020*520*1050mm1370*850*1295mm
重量
645Kg800Kg920Kg


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