TMC LaserTable-Base主被动串联隔振系统应用特殊科研领域，冷原子干涉测量案例分享

2023/04/26   下载量： 1 次

方案摘要

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应用领域 半导体
检测样本 光电器件
检测项目
参考标准 超低频（0.01Hz-2Hz）隔振

特殊科研领域 关注超低频（0.01Hz-2Hz） 冷原子干涉测量（万有引力常数G的精度测量） 非常高的重力加速度要求 地面环境比较好（低频位置g接近100nm） 验收测量手段严格（20t重车跳车模拟振源）

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配置单
方案详情

客户现场情况及使用背景：

  特殊科研领域

  关注超低频（0.01Hz-2Hz）

  冷原子干涉测量（万有引力常数G的精度测量）

  非常高的重力加速度要求

   地面环境比较好（低频位置g接近100nm）

  验收测量手段严格（20t重车跳车模拟振源）


安装验收过程：

1.客户自制地面水平度不好，森泉对其中一个非常不好的地面进行了灌浆处理。

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2.现场硬件安装

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3.森泉工程师现场调试和测试

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4.系统安装调试完毕及测试数据

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5.售后培训及回访

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现场产品技术培训及使用问题交流



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优越的隔振性能： STACIS压电+Maxdamp气浮

• 结合STACIS在低频率的卓越的性能和Maxdamp在高

频率的性能。

• 高低频隔振的串联使其隔振性能全频优越。

• Stiff and highly damped Optical Top for the experiment

• 6 active degrees of freedom active vibration control

• 主动带宽0.6 Hz -150 Hz, 150Hz以上由气浮隔振接管。

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安装环境要求：

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文献贡献者

青岛森泉光电有限公司
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