资料摘要
资料下载由于底材的影响，薄膜材料弹性模量的可靠测量是非常有挑战性的。特别是当薄膜厚度小于200nm的时候，限制测试10%的镀膜厚度来避免底材机械力因素是一种有效的预防原则。探针的曲率半径是许多影响因素之一。
文献贡献者
原子力显微镜 升级
简介：AFM 升级，ICON 升级，Fastscan 升级 更多模块集成一台原子力显微镜
JJG(军工) 178-2019
简介：大尺寸平面平晶计量检定规程，适用于首次检定，后续检定和使用中检查。 这个规程适用于光学加工厂、企业计量室、精密加工车间等现场检测使用。
美国四探针电阻测试课件讲义
简介：四探针电阻测试仪，可程序编排任意测量点位置和测量点数量，具有边缘修正功能，可以测试不规整样片单点测量，可以测量方块电阻/电阻率/薄膜厚度。
JJF17392019数字式激光球面干涉仪校准规范
简介：面形偏差surface form deviation,被测光学表面相对于参考光学表面的偏差。 峰谷值peak-to-valley (PV) value,面形偏差MAX值减去最小值，简称PV值。 PVr 值robust peak-to-valley (PVr) value,面形偏差的36项Zernike多项式拟合面PV值加上3倍拟合残差(面形偏差减去36项. 3.4球面元件F 数F number of spherical optics,球面曲率半径与通光口径的比值。注:被测球面元件F数应当小于或等于干涉仪球面镜头F数，才能实现球面干涉仪全表面测量
Optonor多普勒激光测振仪课件
简介：The MEMSMap 510 illuminates the target area with an xpanded laser beam, while the object is imaged by a microscopic objective onto a CMOS sensor array. For out-of-plane easurements, an internal reference beam is used to interfere with the object light. For in-plane-measurements, two laser beams are used for object illumination.For vibration measurements the system computer uses a signal generator to drive an excitation device, and the target object is excited over a frequency range. Vibration amplitude fringes can be displayed in real-time, while a unique recording algorithm is used to calculate numerical amplitude and phase maps. For static deflection measurements the Optonor technology is based on phase shifting to record and calculate static deflections of the object under investigation.
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