产品详情

产品‍‍概要：

KOSAKA ET200A是KOSAKA新推出的经济型台式两用机型：6寸台阶仪（支持升级到8寸载物台）和粗糙度轮廓仪。可根据用户需求任意组合，是一款带有专用控制器的高精度、高性能的表面粗糙度测量仪器。

基本信息：

极佳重复性与线性度

采用直动式检测方式，可避免圆弧补正误差，可避免Bearing间隙误差；台阶测定重复性：1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm；Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

直动式检出器构造

直动式检出器测量边沿效应

重复测量数据 (10 times)

Taylor Hobson 标准样

直动式检出器测量边沿效应

VLSI SHS-9400QC

VLSI SHS-440QC

实时监控测量位置

超高直线度国际认证数据

位移光栅尺与时间取样

形状及粗度解析

粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测量参数多达60种；可测量台阶及倾斜度。

超大测定力范围

测定力在10 ~ 500uN、1~50mgf可任意设定可测定软质材料面，如:COLOR FILTER、SPACER、PI等。

触针保护盖板及方便更换

技术优势：

1、设备主体花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震

2、独特的直动式传感器设计

3、Z方向重复性1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm

4、Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

5、样品台的垂直直线度保证：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

6、高精度的X方向位移光栅尺控制，X方向测量长度大至100mm，Y方向可移动150mm

7、自带三维测量功能

应用方向：

主要用于平板显示器、硅片、硬盘等的微细形状台阶／粗度测定，对多种零件表面的粗糙度，波纹度以及原始轮廓进行多参数评定，另外也可利用微小测定力来对应软质样品表面测定。‍‍

英铂科学仪器（上海）有限公司为您提供KOSAKA台阶仪ET200A台阶仪/粗糙度轮廓仪，KOSAKAET200A台阶仪/粗糙度轮廓仪产地为日本，属于进口台阶仪，除了KOSAKA台阶仪ET200A台阶仪/粗糙度轮廓仪的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供英铂科学极低温开循环真空探针台 (LPS-50)、MPI TS2000-SE探针台、MPI 12寸全自动探针台TS3500,英铂科学仪器客服电话400-860-5168转4178，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 180天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 英铂科学仪器（上海）有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91310117MA1J1CKYXG
成立日期: 2016年06月07日
注册资本: 人民币1000.0000万元整
经营范围: 一般项目:仪器仪表、机电设备、机械设备、五金交电、电气设备、电子产品、计算机软硬件及配件、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、日用百货、劳防用品、橡塑制品、办公用品、办公设备、家用电器批发零售,商务信息咨询,仪器仪表、机械设备、机电设备安装维修服务,电子商务(不得从事增值电信、金融业务),半导体科技、新材料科技、化学技术、机电技术、医疗技术、生物技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,货物或技术进出口(国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外),电子元器件及组件、机械设备、机电设备加工。(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)

型号：	ET200A台阶仪/粗糙度轮廓仪
产地：	日本
品牌：	KOSAKA
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