其他null检测 | 毫米波太赫兹测试系统 Cobalt Fx + TS150-THZ 在片测试、圆晶探针测-英铂科学仪器（上海）有限公司

方案摘要

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将MPI手动直流射频圆晶级探针台 TS150-THz 6英寸、TS200-THz 8英寸与Cobalt Fx系列 VNA毫米波测试系统完美结合，同时具备高性价比与性能，适用于多种毫米波太赫兹应用测试，是在片测试、圆晶探针测量预算首选方案。

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配置单

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Cobalt Fx系列 VNA毫米波测试系统

Millimeter Wave VNA System

Cobalt Fx毫米波S参数测量系统是第一个利用 9GHzVNA 的毫米波频率解决方案，由矢量网络分析仪和Farran FEV扩频模块组成，全面胜任最高至110GHz频率测试。

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Cobalt Fx的高动态范围和方向性允许在50-75GHz、60-90GHz和75-110GHz三个专用波导频带中进行高度精确和稳定的毫米波S参数测量。

6英寸太赫兹手动探针台

TS150是MPI 6英寸手动探针台系统，可以提供准确可靠的DC/CV, RF和高功率测量。探针悬停控制™配有悬停高度（50、100或150µm），便于探针与Pad的对准。频率扩展器适配性强，配有MPI陶瓷辅助夹头用于测试单个集成电路的专用ERS热夹头系统直流、射频和THz微定位器的探针板设计。

将MPI手动直流射频圆晶级探针台 TS150-THz 6英寸、TS200-THz 8英寸与Cobalt Fx系列 VNA毫米波测试系统完美结合，同时具备高性价比与性能，适用于多种毫米波太赫兹应用测试，是在片测试、圆晶探针测量预算首选方案。两套系统强强联合的优势在于：

1、单机多应用

•无缝集成各种宽带、差分、毫米波或宽带频率扩展器和自动阻抗调谐器

•全新设计的扩展器、调谐器集成，可实现最大的动态测量

•最大的机械稳定性和重复性，实现方便和安全的操作

2、人体工程学设计

•方便单手操作，快速移动气浮式样品台设计

•坚固且空间充足的工作台，可承载大型微定位器和毫米波模块扩展器

•三段式工作台快升把手设计，实现接触、分离和加载的高性能

3、弹性选配与升级性

•可选振动隔离支持大型自动阻抗调谐器

•专用光学元件，用于缩短电缆和波导的长度，实现最大的测量方向性

文献贡献者

英铂科学仪器（上海）有限公司

金牌会员丨第2年

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