| 型号： | DM-002 |
| 产地： | 以色列 |
| 品牌： | HOLO/OR |
| 评分： |
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高功率掩膜（DOE专用掩膜）——用于精密控制大功率激光的孔径，它的结构是在玻璃基板上镀有一层很薄（~1μm）的图案反射涂层。
HOLO/OR已经开发了一系列投影掩模，以满足在UV-VIS光谱中具有很高功率的激光源使用此类掩模的需求。这些掩模具有两种不同的形式：电介质反射掩膜具有阻挡不需要的光的反射涂层，而透射成像掩模模则使用了衍射图案，该衍射图案将这种不需要的光以大角度散射。
典型参数
Outer Diameter: | 5 - 100 mm |
Aperture Shape | Round, square, multi-aperture, other |
Aperture Size | 10 um - 60 mm |
Wavelength spectrum | 193 - 11000 nm, each element designed for single wavelength |
Transfer Region | Small; sharp edges |
SNR | ~500 |
Shape size | >5 um |
电介质反射掩膜
电介质反射掩膜是熔融石英衬底，其上涂有非常薄（～1um）的反射涂层。涂层部分反射入射光束，而未涂层部分透射光束。
典型应用
●大功率系统的微图案投影
Micro patterns projection for high power systems
●紫外线光刻
UV lithography
光学系统示意图：
图1. 典型设置
HOLO / OR可以设计和制造定制的电介质反射掩膜以满足客户的需求。
图2.用显微镜放大倍数对定制电介质反射掩膜的真实测量
电介质反射掩膜的特点
●高损伤阈值
High damage threshold
●低吸收
Low absorption
●反射部分的高反射率（> 99％）
High reflection (>99%) in reflective part
●透明部分的透射率高（> 95％）
High transmission (>95%) in transparent part
●极薄的介电反射层（～1 um）
Very thin dielectric reflective layer (~1 um)
透射成像掩模
透射式掩模的特点是透射全部入射光，没有任何阻挡，透射掩模使用衍射图案以大角度漫射不需要的波段。
工作原理
中心有一个和反射式掩膜类似的透明区域，光线直接透过，周围区域具有衍射图案，使不需要的入射光以大角度出射。配合聚焦镜后焦平面放置的小孔，就可以阻挡大部分漫射光，从而达到阻挡多余激光的效果。
光学系统示意图
透射成像掩模的特点
●无反射光危险，不会损坏光学系统
No danger of reflected light causing damage to optical system
●约100％传输
~* transmission
●激光损伤阈值高于反射罩
Higher laser damage threshold than for reflective mask
●价格合理，与其他衍射元件相似
Affordable price, similar to that of other diffractive elements
透射掩模元件
测量强度
标准产品
Part Number | Diameter (mm) | Aperture Size (um) | Aperture shape | Material |
DM-002 | 11 | 65 | Square | Fused Silica |
DM-003 | 11 | 165 | Square | Fused Silica |
DM-004 | 25.4 | 1750 | Square | Fused Silica |
DM-005 | 25.4 | 3500 | Square | Fused Silica |
DM-006 | 25.4 | 7000 | Square | Fused Silica |
DM-007 | 25.4 | 10838 | Round | Fused Silica |
DM-008 | 20 | 8428 | Round | Fused Silica |
DM-009 | 25.4 | 6200 | Round | Fused Silica |
DM-010 | 25.4 | 5680 | Round | Fused Silica |
DM-011 | 11 | 4817 | Round | Fused Silica |
DM-012 | 11 | 3612 | Round | Fused Silica |
DM-013 | 11 | 2408 | Round | Fused Silica |
DM-014 | 11 | 4214.9 | Round | Fused Silica |
DM-015 | 11 | 3000 | Round | Fused Silica |
DM-016 | 11 | 5400 | Round | Fused Silica |
DM-017 | 85 | 50075 | Square | Fused Silica |
DM-019 | 25.4 | 300 | Square | Fused Silica |
※For a quotation of an above Part Number, please specify the wavelength used.
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