TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP

参考价：¥10万 - 50万

型号：	SEM Base LP
产地：	美国
品牌：	TMC
评分：

核心参数

产地类别：进口

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产品详情

TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP

赛默飞世尔定制版SEM主动隔振平台SEM Base LP

SEM-Base-LP是我们的标准SEM-Base主动压电振动消除平台的定制、低剖面版本。SEM-Base-LP更易于安装，提供卓越的性能，并且符合人体工程学优化。紧凑的设计便于安装，无需使用扫描电子显微镜（SEM）的内置调平脚以外的任何东西来提升扫描电子显微镜（SEM）柱。而且，一旦安装，扫描电镜的高度以上的地板不会增加。SEM-Base-LP采用了我们独特的STACIS压电技术，具有与我们的行业标准SEM-Base-VI相同的振动消除性能。SEM-Base-LP包括脚轮，专门设计用于与许多赛默飞世尔科技（前身为FEI）工具集成。

Example of how SEM-Base LP integrates with the bottom frame of the tool

兼容的Thermo Fisher产品型号

SEM Base LP与许多Thermo Fisher产品型号兼容，包括

●Apreo

●Aquilos

●Helios Small DualBeam

●Nova NanoSEM x50

●Quattro S

●Scios

●Teneo

●Verios G4

●Verios 460, 460L

●Versa 3D

如果您的SEM/FIB未列出，请联系我们检查兼容性。

TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP的优势

硬安装技术–SEM底座与内部SEM振动控制系统兼容，并积极缓解0.6 Hz的低频地板振动。

主动惯性振动消除-扫描电镜基地使用高灵敏度，低频惯性速度传感器，以实现高水平的振动衰减，即使在安静的地板。

采用压电技术的串行设计–独特的串行设计和专有的高压压电技术可实现从0.6 Hz到150 Hz的宽有源带宽，以及无与伦比的惯性主动消振，从2 Hz开始可降低90%。

TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP的性能

1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP规格

性能

主动自由度	6
主动带宽	0.6 Hz - 100 Hz
被动固有频率	标称值为12 Hz
有效的主动共振频率	0.5 Hz
1 Hz时的隔振	40% - 70%
2 Hz时的隔振	90%
≥3 Hz时的隔振	90 - 98%
内部噪音	<0.1 nm RMSd>
工作负载范围	标准承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克）高承重能力：2,500 - 3,200磅（1134 - 1452千克）
磁场发射 4英寸（102毫米）处距离平台	<0.02 μG broadband RMSd>

设计、尺寸、环境和效用要求

环境和安全	符合CE和RoHS标准
主动隔振元件	最小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷
被动隔振元件	单个硬弹性体（无需压缩空气源）
振动传感器元件	向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压
主动反馈控制回路	在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和支撑隔离面
尺寸（宽 x 深）	35.25 x 44.25英寸、895 x 1124毫米
高度	标称6.3英寸（160毫米），SEM-Base关闭时不会改变
工作温度	50° - 90°F 10° - 32°C
储存温度	-40° - 130°F -40° - 55°C
湿度	80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C
系统电源要求	100、120、230、240 VAC、50/60 Hz AC；<600 W，符合CE标准
地面位移	<800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>

内置控制器规格

处理器	150/75 MHz双核
采样率	10 kHz
模拟输出	16个通道
模拟输入	16个通道
状态灯	单个LED
前面板端口	1个串行USB2.0 1个串行Micro-USB 1个以太网RJ-45 2个BNC
用户界面	前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI 嵌入式以太网GUI

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