等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PDC200
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等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PDC200

报价：¥55万
型号： PDC200
产地： 日本
品牌： 雅马拓
评分：
浚和(上海)仪器科技有限公司
白金会员 丨 6年
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核心参数
产品详情
简介
YAMATO等离子清洗机PDC200是一款小型桌上型高频等离子表面处理装置，具备0-300W高功率射频发生器和自动匹配功能，操作简便且高效。设备采用平行平板腔体设计，适用于实验室处理各种样品，并配备数字式皮拉尼传感器实时监控真空度。PDC200具有多重安全保护措施，包括温度、压力及异常报警，确保使用安全。其等离子清洗效果好、效率高，对样品无材质限制，温升小，适合多种材料的处理。

等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PDC200产品介绍：

小型桌上型高频等离子表面处理装置

■ 操作性·功能

● 射频13.56Mhz 0-300W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性。

● 标准配备数字式皮拉尼传感器，实时显示真空度，使得控制更为精确。

● 平行平板腔体非常适合于实验室处理比较纯净的晶圆、硅片等样品，无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。

■ 安全性·保护

● 装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯，可实时监测和了解机器的运转状态。

● 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。

■ 等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PDC200产品优势

●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。

●对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求。

●等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。

●高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。

●特制电极和托盘结构，可保证样品可得到全面有效的清洗。

■ 等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PDC200规格

型号

PDC200

方式

RIE模式、平行平板腔体

性能

发生器功率：

0-300W

发生器频率：

射频RF13.56Mhz

发生器匹配方式：

自动匹配（Auto matching）

构成

腔体材质：

铝制

腔体内尺寸：

W400×D250×H150mm

反应气体：

二路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。

控制方式：

全自动控制

真空度显示：

数字式皮拉尼传感器，实时显示腔体内真空度。

配管材质：

SUS不锈钢以及特氟龙

门：

                                            铰链门

外形尺寸：

W540×D600×H600mm

真空泵抽速：

4m3/hour

电源规格：

                                        AC220V  10A

重量：

约100kg


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典型用户
用户单位 采购时间
日本kashiyama 2023/10/18
德祥科技-Think-lab 2023/08/13
德国海道尔夫(Heidolph)公司 2023/07/13
美国orion 2023/10/11
永诺生物 2023/06/23
中科都菱 2023/02/23
售后服务
  • 产品货期： 30天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训
  • 电话支持响应时间： 24小时内
  • 是否支持上门巡检： 是
  • 是否提供预防性维护计划： 是
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浚和(上海)仪器科技有限公司为您提供雅马拓等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PDC200，雅马拓PDC200产地为日本，属于等离子体表面处理仪，除了等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PDC200的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多等离子体表面处理仪,浚和仪器客服电话400-861-0969，售前、售后均可联系。
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