雅马拓YAMATO等离子清洗机PR500_价格-浚和(上海)仪器科技有限公司

YAMATO等离子清洗机PR500

报价：¥50万

型号：

PR500

产地：

日本

品牌：

雅马拓

评分：

应用领域：

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产品详情

简介

PR500和PR510是两款低温等离子处理设备，经典桶型设计，分别支持手动控制和自动触摸屏控制。PR510通过自动协调功能及触摸屏操作提升了操作性和安全性，适合去除光刻胶、部件清洗、界面活性处理等用途。该设备采用大口径石英反应腔，具备小型一体化设计，适用于硅晶圆和玻璃基板处理，提供两种等离子模式和双反应气体系统，确保高效处理。

低温等离子·经典桶型。

PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制

内槽

硅晶圆灰化状态

低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能

及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款

小型紧凑型的等离子处理设备。

● 去除光刻胶

● 部品清洗

● 界面活性处理

● 微研磨

● 硅晶圆，玻璃基板对应

用途

● 大口径（Φ215mm）石英反应腔

● 小型一体化设计

规格：

型号	PR500	PR510
等离子模式	DP模式，桶形
高频输出功率	Max500W
频率	13.56MHz
同调方式	自动协调
反应腔	石英Φ215×305mm
反应气体	2系统（O₂／CF₄）
控制	手动	触模屏自动控制
配管材质	不锈钢、特氟龙
外形尺寸	W438 x D520 x H760mm	参照规格书
重量	约60kg	参照规格书
电源	单相AC100V 9A	三相AC200V 8A

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