YAMATO等离子清洗机PDC510

YAMATO等离子清洗机PDC510

参考价：¥82万
型号： PDC510
产地： 日本
品牌： 雅马拓
评分：
核心参数
浚和(上海)仪器科技有限公司
白金会员 丨 6年
关注展位 全部仪器
展位推荐 更多
产品详情

高频等离子表面处理装置


■ 操作性·功能

● 射频13.56Mhz 0-500W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性。

● 标准配备数字式皮拉尼传感器，实时显示真空度，使得控制更为精确。

● 一体成型铝制腔体，腔体材质结实可靠而且无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。


■ 安全性·保护

● 标准装备自我诊断功能，可实时监测和了解机器的运转状态。

● 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。


■ 产品优势

●DP和RIE模式标准配备即可利用等离子的化学性质又可以有效利用

其物理性质，工艺应用范围更加广泛。。

●原则上所有材质的样品都可以进行清洗，对清洗样品材质没有要求。

●液晶触摸屏控制，操作简单方便。

●标准配备产生等离子均匀性很好的平行平板电极。

●标准装备多种安全功能，安全措施绵密。


■用途

●CSP\BGA\COB基板等离子清洗

●去除有机膜和金属氧化膜

●印刷电路基板的干式清洗

●材料表面活化处理

●LDE封装


■构成图

PDC510（1）.jpg


■规格

型号

PDC510

方式

RIE模式/DP模式

性能

发生器功率：

0-500W

发生器频率：

射频RF13.56Mhz

发生器匹配方式：

自动匹配（Auto matching）

构成

腔体材质：

一体成型铝制腔体

腔体内尺寸：

W500×D300×H200mm

电极尺寸：

W400×D200

反应气体：

二路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体

控制显示方式：

液晶触摸屏、全自动控制

真空度显示：

数字式皮拉尼传感器，实时显示腔体内真空度。

反应气体流量控制：

MFC 质量流量计

门：

                                        铰链门带观察窗

外形尺寸：

W700×D700×H1285mm

真空泵：

干式真空泵 NEODRY 36E（油泵可选） 

真空泵抽速：

      36m3/h

电源规格：

                                       三相200V  8A

重量：

约180kg


浚和(上海)仪器科技有限公司为您提供雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC510，雅马拓PDC510产地为日本，属于等离子体表面处理仪，除了YAMATO等离子清洗机PDC510的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多等离子体表面处理仪,浚和仪器客服电话400-861-0969，售前、售后均可联系。

雅马拓表面处理仪PDC510的工作原理介绍表面处理仪PDC510的使用方法?雅马拓PDC510多少钱一台?表面处理仪PDC510可以检测什么？表面处理仪PDC510使用的注意事项？雅马拓PDC510的说明书有吗？雅马拓表面处理仪PDC510的操作规程有吗？雅马拓表面处理仪PDC510报价含票含运吗？雅马拓PDC510有现货吗？
相关资料 更多

相关产品

浚和(上海)仪器科技有限公司为您提供雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC510，雅马拓PDC510产地为日本，属于等离子体表面处理仪，除了YAMATO等离子清洗机PDC510的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多等离子体表面处理仪,浚和仪器客服电话400-861-0969，售前、售后均可联系。
Business information
工商信息 信息已认证
当前位置： 浚和仪器 仪器 YAMATO等离子清洗机PDC510

关注

拨打电话

留言咨询