产品介绍:
Regulus8100是日立冷场发射扫描电镜的全新系列,Regulus8100保留了SU8010易维护、易操作等优点,进一步提高性能,1kV减速模式下高分辨率达到了0.8nm,15kV达到0.7nm,高低电压均可满足高分辨的观察。
主要特点:
1. 配备加速电压减速功能,的低加速电压成像能力,1kV分辨率可 达0.8nm
2. 日立E×B技术,无需喷镀,可直接观测不导电样品
3. 配备电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能
4. SE与BSE任意比例搭配功能
样品:AlTiC基板
加速电压:1kV
倍率:2万倍
应用领域:
1、 纳米材料;
2、 半导体器件;
3、 高分子材料;
4、 生物医学;
5、 新能源。
详细技术参数要求:
1. 运行环境:
1.1 房间温度:15 ~ 25℃
1.2 相对湿度:小于60%
1.3 适用电源:单相,220V±10%,50/60Hz,4kVA,要求连续供电
*1.4 地线:接地电阻不小于40Ω
2. 设备用途:用于样品的形貌、结构研究及样品的元素分析。
3.技术规格
3.1 组成:主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统),自动变压器,冷却循环水系统,计算机,标准工具及附件。
*3.2 电子枪:冷场发射电子枪
3.3 分辨率
*3.3.1 SE分辨率 15KV:0.7nm (工作距离4mm)
*3.3.2 SE分辨率 1KV:0.8nm (工作距离1.5mm)
3.4 放大倍率
底片倍率:小≤20倍,大≥1,000,000倍,底片和显示器倍率可同时显示
3.5 加速电压
加速电压:0.1 ~ 30kV (100V/step,含减速)
3.6 束流:≥1pA
*3.7 物镜光阑: 4孔机械可调式,内置加热自清洁装置
* 3.8 信号检测系统
具有高位探测器、低位探测器及ExB信号选择系统,高位探头安装在物镜上方,可以按比例选择接收SE和BSE信号,可在2kV以下成背散射电子像。
3.9 样品台驱动: 5轴优中心马达驱动
X:0-50mm,Y:0-50mm,Z:1.5-30mm,R:360°,T:-5°~70°
3.10 样品尺寸
直径100mm
*3.11 样品换样方式
通过预抽室交换样品,预抽室端面透明,可观察到样品交换过程
3.12 具有样品安装到位提示,避免样品在安装时脱落
3.13 图像处理软件:可以进行图像的处理、测量和编排实验报告
3.14 数据记录:照片包括编号,加速电压,标尺,放大倍率,日期,时间,工作距离等
3.15 扫描速度:
Rapid扫描: Rapid1~Rapid2 2种
Fast扫描: Fast1~Fast2 2种
Slow扫描: Slow1~Slow7 7种
CS 扫描: CSS1~CSS7 7种
Reduce Scan
3.16 图像显示:不低于1280×960像素
3.17 图像储存:640×480,1280×960,2560×1920,5120×3840像素,照片包括编号,加速电压,标尺,放大倍率,日期,时间,工作距离等信息
3.18 图像类型: TIFF, BMP或JPEG
3.19 信号/图像处理功能:
像素积分改善S/N,框架积分,彩色图像显示,2色合成图像显示(保存图像),伪彩色图像显示(保存图像),针对保存图片的图像处理(灰阶变换,伽马调整,各种空间过滤处理)
3.20 保存图像处理:
可以进行图像的处理、测量和编排实验报告,捕捉的图片可存储在临时图片栏内,可选择单张存储或批量存储,可自动连续命名
3.21 自动功能:自动对焦,自动调像散,自动合轴,自动图像漂移校正
*3.22 真空系统:
排气控制:全自动真空阀
真空泵:分子泵(磁悬浮型)300L/S×1;机械泵133L/Min×1台;离子泵60L/S×1,20L/S×2台
真空度:电子枪部分优于10-7Pa;样品室部分优于10-4Pa
样品更换抽真空时间:≤1分钟
真空规:全真空规,皮拉尼规×2
保护:断电、漏电、真空保护
3.23 用户可自行完成红烘烤维护和镜筒合轴维护
4.仪器配置、附件及工具
4.1 配置要求
PZ-3500C昆虫超景深视频显微镜
PZ-180NDT便携分体式粗糙度仪
研究塑料薄膜材料与水接触角测量测试仪
水滴角测试仪在电子元件材料中运用
关注
拨打电话
留言咨询