奥林巴斯半导体/FPD检测显微镜MX63/MX63L

MX 63 和 MX63L 显微镜系统具有多种功能，采用符合人体工学的易用设计，能够提供大 300mm 晶圆、平板显示器、印刷电路板、以及其他大型样本的高品质观察。该产品采用灵活的模块设计，能够提供适用于多种检查用途的佳观察系统。通过与奥林巴斯 Stream 图像分析软件结合，从观察到报告生成在内的整体检查过程都变得简单而流畅。

现今智能手机产业的蓬勃发展带动了包括半导体、平板显示（FPD）、印制电路板（PCB）等整个电子制造业的飞速进步。奥林巴斯新推出的MX63和MX63L工业检测显微镜具备光学性能、适合大样品的检测、先进的人体工学设计等诸多优点将会有助电子制造行业的发展更上一层楼。

从不可见到可见：MIX观察与采集

新MX63/MX63L显微镜是该系列个支持奥林巴斯MIX照明功能的产品，由此进一步提升了该显微镜的观察能力。MIX可将暗场与明场、荧光或偏振等其他观察方法结合使用。在很多应用中，MIX能够帮助用户观察到使用传统显微镜难以看到的缺陷。

功能性：适合所有晶园尺寸

新MX63/MX63L显微镜特别适用于半导体、平板显示、印制电路板等行业的大尺寸样品检测。MX63可用于大晶圆直径200mm，MX63L可用于最晶圆直径300mm。此外，新显微镜还可以选配晶园搬送机，实现可靠、安全、高效的对晶圆正面和背面进行检测。

模块化：全面可定制

新MX63/MX63L显微镜的模块化设计让检测者能够根据应用需要选择组件。两款显微镜均按洁净室应用而设计，并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有电动组件均安装在屏蔽结构内，镜架、镜筒以及其他部件均经过防静电处理。