三坐标测量仪测头可视为一种传感器,只是其结构、功能较一般传感器更为复杂。三坐标测头的两大基本功能是测微(即测出与给定的标准坐标值的偏差量)和触发瞄准并过零发讯。
按结构原理,测头分为机械式、光学式和电气式等。机械式主要用于手动测量;光学式多用于非接触测量;电气式多用于接触式自动测量。由于坐标测量机的自动化要求,新型测头主要采用电学与光学原理进行信号转换。
按测量方法,测头可分为接触式和非接触式两种,接触式测头便于拾取三向尺寸信号,应用甚为广泛,种类也很多;非接触测头由于督导的优点发展迅速。
接触式测头分为硬测头和软测头。硬测头多为机械式测头,主要用于手动测量;软测头包括触发式测头与模拟式测头。
按功能又可将测头分为瞄准的测头和用于测微的测头。
用于瞄准的测头有全部的硬测头、电气测头中的开关式测头和光学侧头中的光学点位测头。
用于测微的测头有电气测头中的电感测头、电容测头、光学侧头中的三角法测头、激光聚焦测头、视像测头等。
对于测量仪器种的其他测头相比,三坐标测头具有以下特点:
1、由于测量曲线、曲面、深孔、复杂箱体等工作的需要,要求测头自身能多向运动,并可补偿测头的测端半径。它的结构远比单向(单轴)测头或传感器复杂,有的采用多层结构,并且往往是多个传感器的组合。
2、由于三坐标测量仪的要求测量速度快,自动化程度高,能测量各种工件与参数,故结构上常采用多探针形式,并能视需要对某一向或二向锁紧,预加测力与预偏等,结构比较复杂和完善。
3、由于测量仪与数显、计算机数据处理及数控联系在一起、故测头一般采用电气及光电系统。测头的回转、更换、测头锁紧及测力机构也是由电气控制,这既便于操作,又便于遥控及自动化。
4、测头的精度高。它的单向精度一般能达到单向测头的精度,重复精度可达0.1μm。三向测头的综合重复精度亦能达到0.2μm-0.5μm。
5、为适应各种任务需要,例如进行扫描测量,在有些情况下,要求测头有很大量程。例如光栅式三维测头,实际上就相当于一台小的三坐标测量仪。
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