中国电镜产业链系列走访第7站国仪量子：电镜产品已从“有”到“优”，未来布局矩阵式创新发展

国仪量子技术（合肥）股份有限公司

2024/02/22 15:32

秉承“国产科学仪器腾飞行动”宗旨，仪器信息网于2018年启动“国产科学仪器腾飞行动”之“创新100”项目，通过筛选一批具备自主创新能力的中小仪器厂商，在企业发展的关键时期“帮一把”。五年以来，天时地利人和至，中国电镜产业迎来发展窗口期，国内电镜产业链企业们也纷纷抓住历史机遇，实现生机蓬勃的发展之势。2023年迎来国产电镜的“全新时代”。

此背景下，“创新100”项目组在2023年底走进13家中国电镜产业链代表性企业，邀请电镜专家联合走访，探寻中国电镜产业发展进展，为发展新阶段赋能，也为2024年即将在苏州举办的“第三届中国电镜产业化发展论坛”的内容筹备作前期调研。

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△ 交流现场

走访第7站，由中国科学院上海硅酸盐研究所测试中心主任曾毅研究员，北京信立方科技发展股份有限公司副总经理、仪器信息网CEO赵鑫，仪器信息网材料物性组执行主编杨厉哲，营销服务中心经理韩永风等组成的走访项目团队走进国仪量子技术（合肥）股份有限公司（简称“国仪量子”），国仪量子副总裁曹峰、国仪量子市场品牌部总监陈雯等接待了走访一行人员。

——电镜产品进展

国仪量子成立于2016年底，以量子精密测量技术为核心，为企业、政府、研究机构提供以增强型量子传感器为代表的关键器件、用于分析测试的科学仪器装备、赋能行业应用的核心技术解决方案等。成立7年以来，国仪量子有力推动了量子传感、电子顺磁共振波谱仪、电子显微镜、气体吸附分析仪、微弱信号检测、量子物理教学设备等国产高端科学仪器的发展。

对于公司电镜产品的发展路线，曹峰概括为“这是一个从无到有，从有到优的过程”。2023年，国仪量子发布高速扫描电子显微镜HEM6000、超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X、聚焦离子束电子束双束显微镜DB500三款电镜新品，可以说向“优”迈进了一大步。

HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜，采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了高速图像采集和成像（10 ns/pixel，2*100 M pixel/s），同时保证了纳米级分辨率（1.3 nm@3 kV，SE；2.2 nm@1 kV，SE）。自动化操作流程设计使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。

△ 高速扫描电子显微镜HEM6000

SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术以及镜筒工艺升级，实现了低电压分辨率的进一步提升。样品仓扩展接口增加至16个，快速换样仓最大支持8寸晶圆（最大直径208 mm），极大扩展了应用范围。高级扫描模式和自动功能增强，带来了更强的性能和更好的体验。

△ 超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X

DB500拥有自主可控的场发射电子镜筒和“承影”离子镜筒，是一款全能的纳米分析和制样工具（分辨率3 nm@30 kV）。高压隧道技术、低像差无漏磁物镜设计，低电压高分辨率成像，保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒采用液态镓离子源，拥有高稳定、高质量的离子束流，保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器、电子物镜防污染机构，拥有24个扩展口，配置全面，自主可控，扩展性强。

△ 聚焦离子束电子束双束显微镜DB500

2024年1月，由生物岛实验室和国仪量子联合成立的广州慧炬科技有限公司发布国产首台商业场发射透射电子显微镜太行TH-F120，打破了国内透射电镜100%依赖进口的局面。这是国仪量子电镜产品的重大突破，更是中国电子显微技术的重大突破，对于我国电子显微事业与高端科学仪器国产化的发展而言都具有重要意义。

△ 场发射透射电子显微镜太行TH-F120

——电镜售后服务

2023年，国仪量子在电镜领域所取得的成就，不只有新产品的发布和销售业绩的增长，还有电镜队伍的完善。曹峰表示，经过多年的探索，国仪量子的电镜体系终于有了一个真正能跟进口品牌“掰一掰手腕”的团队。这支团队不仅具备较强的研发能力，知道如何针对性的改进产品，还知道了如何去提升客户体验。国仪量子的电镜客户群分布广泛，既有工业领域的，也有科研领域的。为确保满足客户的多样化需求，公司每周召开会议来梳理客户的意见，并以此对产品和服务进行改进和优化。

曹峰认为，作为国产仪器厂商，在服务响应方面就应该做得更好。经过持续的人员培训与团队扩建，国仪量子的服务越来越赢得客户的好评，计划在2024年进一步扩充电镜队伍，其中售后人员将增加50%，以保障电镜产品的售后满意。

——未来发展计划

2023年，国仪量子的电镜产品实现了从“有”到“优”的跨越式发展。在此基础上，2024年，国仪量子将继续创新和突破。目前，公司正在申请探测器、成像模式等方向的相关专利，并对更高亮度热场发射电子枪和冷场发射电子枪等进行研发。

关于未来的发展计划，国仪量子制定了内部创新矩阵。一是结构化创新，就是把已有的技术和产品进行排列组合，然后得到一些新的技术和产品；二是局部创新，即针对“人无我有”的技术，基于客户的实际需求进行针对性的研发；三是解决方案，把电镜技术应用开发为成套的方案，更高效地服务细分领域客户；四是电镜配件，国仪量子支持高校、研究所的科研人员进行电镜配件。

最后，曹峰谈了一些他对选购电镜的建议看法。现阶段，部分国产电镜已有相当的实力，用户在选购电镜时尽可能充分调研，进行实地考察或测样，除了标示的参数以外还可以了解很多非量化指标的性能，以满足实际需求为准。另外，各厂家电镜型号众多、各有特色，可应对不同的应用需求。用户可以先明确自己最需要的功能，选定针对性的部分产品后，再进行详细考察。

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