Deep-LevelTransientSpectroscopy(DLTS)深能级瞬态谱

2020-09-04 15:15  下载量:9

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深能级瞬态光谱(DLTS)是通过测量电容瞬态随温度变化来检测半导体深能级缺陷浓度和热发射速率的有力工具。它通常使用肖特基二极管或p-n 结作为探针。在此过程中,探针正向偏压,以脉冲电压填充自由载流子缺陷。脉冲后,由于热发射,缺陷开始发射捕获载流子。

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