Ellipsometry椭圆偏振技术

2020-09-04 16:55  下载量:3

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椭圆偏振法是一种测量薄膜介电特性的光学方法。偏振光从样品表面斜反射,产生偏振反射光的振幅比和相位差椭圆,用椭圆偏振光谱仪测量,成分、粗糙度、厚度等信息,通过它可以得到掺杂浓度和其它材料特性。薄膜的本征物理性质也可以用椭偏仪的温度依赖性来研究。

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