固相反应法是一传统的粉化工艺，基础的固相反应法是金属盐或金属氧化物按一定比例充分混合、研磨后进行煅烧，通过发生固相反应直接制得超微粉，或者是再次粉碎得到超微粉。魏少红等将一定量的钨酸铵放在马弗炉中，600℃下煅烧3h，可得到平均粒径为72nm的三氧化钨粉体，通过XRD分析WO3粉体存在两种晶相：单斜晶相和三斜晶相（JCPDS71-2141和JCPDS83-0949），从谱线强度看两种晶相比较接近，都是以ReO3为基础稍微扭曲后形成的。
以仲钨酸铵为原料，高温煅烧，并将得到的三氧化钨粉体烧结成气敏元件，研究其在不同温度下的气敏特性，得出zuijia工作温度为300℃。
固相分解法制备超微粉虽工艺简单，但分解过程中易产生某些有毒气体，造成环境污染。同时生成的粉末易团聚，须再次粉碎，使成本增加。
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