透射电镜原位电学分析系统

参考价：面议

型号：	无
产地：	德国
品牌：	point electronic
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核心参数

产地类别：进口

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产品详情

透射电镜原位电学分析系统——纳米尺度原位电学成像分析解决方案

透射电镜原位电学分析系统在先进材料科学、纳米技术开发、半导体器件开发及失效分析中发挥着至关重要的作用，能够为研究纳米尺度材料及器件提供电学性能分析支撑。

该系统能够适配所有具备外部扫描控制接口的透射电镜，通过深度集成的硬件及软件协同，能够实现对所有电学信号的放大、获取及分析，每个信号均能够实现自动量化，覆盖µA/nA/pA等电流范围。

该系统主要技术优势

・采集系统兼容所有带有外部扫描接口的透射电镜(与EDS或EELS类似)

・所有放大和采集设置均由软件控制

・信号自动量化并以电流值(µA, nA, pA)显示

硬件设备特点

・快速放大优化成像

・宽增益范围，以适应所有技术

・小型化的固定式电子设备

・自动信号路由

为透射电镜原位电学样品杆设计的低噪声前置电流放大器

主要技术优势：

・最靠近原始信号的初级放大，能大幅降低信号噪音

・内置电压偏压和电流补偿

・自动信号路由，避免放电

为透射电镜配备的电学分析放大器

主要技术优势：

・第二级放大以达到最大范围

・出厂精确校准的增益和偏移

・可选锁定配置

电学分析成像仪(DISS6)

主要技术优势：

・集成扫描发生器和图像采集

・像素分辨率高，扫描速度快

・高位深电学分析模数转换

・同时输入明场, 高角环形暗场和电学分析信号

软件设备特点：

DISS6 -控制和采集应用程序

主要技术优势：

・电学分析放大器控制

・电学分析, 高角环形暗场和明场图像采集

・自动定量到µA…fA

・电流-电压扫描工具

・实时图像颜色混合工具

・标准文件格式

DIPS6 -数据处理程序

主要技术参数：

・完整的图像和元数据查看器

・自动定量到µA…fA

・基于梯度的变色效果

・用于可视化的信号颜色混合

・导出定量像素值

应用案例

图一. STEM-EBIC技术:

・非弹性损失诱导了片层中的电子-空穴对

・内部电场将电子-空穴对分开

・电流被数字化以获得电子束诱生电流(EBIC) STEM图像

图二. 揭示内部电场:

・分析器件中的接点和触点

・根据设计验证掺杂分布

・与设备模型和参数相关联

图三. 研究每一层结构中的电学性能：

・定位重组活性增加的位点

・区分有/没有电学活动的缺陷

・使用高分辨率技术

图四. 基本物理参数测定:

・少数载流子的扩散长度

・位错的复合强度

图五. FIB/SEM薄片制备:

・应用标准FIB工作流程进行原位偏压

・利用扫描电镜中的电学分析视场选择目标

・在扫描电镜中筛选薄片以观察制备过程中的损伤

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