型号: | PCD |
产地: | 英国 |
品牌: | Deben |
评分: |
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电子束束闸用于开关扫描电镜电子束(打开和关闭电子束),这种功能主要需要用于电子束光刻,有时EDX、CL或EBIC也需要使用。许多SEM都有一个内置的电子束开关,通过用扫描线圈使电子束关闭。虽然这种方法适用于某些应用,但它通常在数毫秒内完成开关,如果需要更快的关闭速度,应该安装一个单独的电场型束闸。
DEBEN PCD型电子束闸适配与场发射扫描、钨灯丝扫描和六硼化镧扫描电镜,为其提供高速关闭电镜束,脉冲开关电子束以及其他形式的电子束控制。
n 电子束光刻
n 阴极荧光
n EBIC/电压对比
n EDX
n 电子声学显微镜
n 集成法拉第杯
n 50nS开关频率
n 电动插入
n 5V TTL输入
n RS-232遥控
n 1MHz最大频率
n 可用于JEOL和Hitachi SEMs
束闸安装与电镜镜筒PCD端口(物镜光栏对面)30kV电压下具有50ns的开关速度。集成一个法拉第杯在束闸前端,具备测量电子束束流强度的能力。如果您需要一个更加精确的电流数据,束闸的尾部具有一个BNC接口,允许外接皮安表读取。
束闸极板由钴金涂层的磷青铜制成,以确保在插入板时不影响扫描电镜的正常运行。极板可以伸到电子束光路中使用,在不使用时缩回。
极板的长度和间距是一个开关效率最佳的设计,可适用的电镜电压范围1kV~30kV。
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