百及纳米ParcanNano探针电子束光刻机P-SPL21
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百及纳米ParcanNano探针电子束光刻机P-SPL21

参考价:面议
型号: P-SPL21
产地: 德国
品牌: 百及纳米
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产品详情

百及纳米ParcanNano 探针电子束光刻机P-SPL21

 


 

简介:
 

公司以全球首家专利的针尖技术为核心竞争力,技术源自于德国伊尔默瑙工业大学,致力于主动式针尖技术在微纳米结构制备和表征方面的研发,及其相关设备的产业化。
 

公司研制一套基于扫描针尖低能电子场发射的原理、采用压阻式微纳米针尖和多维纳米定位与测量技术、在半导体器件材料表面制造尺寸小于5纳米线宽结构的高性能微纳加工系统。可在大气环境下,高经济效益、快速直写5纳米以下结构和制备纳米级器件。该系统的闭环回路可实现使用同一扫描探针对纳米结构的成像、定位、检测和操纵。

 

技术特点:


。场发射低能电子束
。大幅降低电子束背底散射
。几乎消除电子束临近效应
。光刻5纳米以下单线宽结构
。光刻结构间距小于2纳米
。接近原子级分辨的套刻精度
。线写速度高达 300 μm/s
。大气环境下可实现正负光刻
。正光刻流程无需显影步骤
。无需调制电子束聚光
。大范围分步重复工艺
。Mix & Match 混合光刻模式
。针尖曝光与结构成像实时进行
。真空原位观测光刻图案

 

功能指标


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深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供百及纳米ParcanNano探针电子束光刻机P-SPL21,百及纳米P-SPL21产地为德国,属于其他,除了百及纳米ParcanNano探针电子束光刻机P-SPL21的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供百及纳米ParcanNano电子束光刻机P21(多功能超高精度电子束光刻机P21),蓝星宇客服电话400-860-5168转4527,售前、售后均可联系。

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