SMEE 300系列光刻机 —— LED、MEMS、Power Devices

SMEE 300系列光刻机 —— LED、MEMS、Power Devices

参考价：面议
型号： 300系列
产地： 上海
品牌： --
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核心参数
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SMEE 300系列光刻机 —— LED、MEMS、Power Devices

 

SSB300系列步进投影光刻机面向6英寸以下中小基底光刻应用领域，满足HB-LED、MEMS和Power Devices等领域单面或双面光刻工艺需求。

产品特征

● 高分辨率，分辨率可达0.8μm

● 高速在线MAPPING技术

● 多尺寸基底自适应切换

● 高产能

● 高精度套刻

● 完美匹配ALIGNER

主要技术参数

型号

SSB300

SSB320

SSB380

分辨率

0.8微米

2微米

 1.5微米

曝光光源

i-line mercury lamp

基底尺寸

100/150 mm

100/150 mm

100/150 mm

工艺应用

支持LED PAD/PSS工艺

支持LED PAD工艺

可选配置

 背面对准和可变狭缝（Variable Slit）


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