| 型号： | 液体粒子检测 |
| 产地： | 台湾 |
| 品牌： | 邑流微測 |
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产品概述
多信道液体粒子检测系统
实时监控水质与处理槽状态、直观判读液体中微粒子数量变化，有效提升制程效率&良率。 加上多点位整合大幅降低设备成本，绝对是微污染管控的最佳解决方案。
产品特色
直接整合至营运中机台
自动化多点位分析
24 小时监控微奈米粒子数量变化
减少无效稼动，提升清洗制程效率
每年最高可节省 72%成本
显影剂、混酸去光阻液、铜/铝酸、DI water 检测效果佳
产品优势
缺陷预判
自动示警，微奈米粒子出现微污染状况，洁净程度达警示标准，可提前更换滤芯，预防产品出现状况。
优化建议
智慧化交叉比对滤芯尺寸、寿命、保养周期，评估制程洁净度。并提供优化建议。
建立稳定制程标准
产线机台之清洁维持稳定的制程标准，确保此制程不会成为客户highlight的一环。
半导体全产业应用
晶圆制造 封装测试
产品优势
一机多点位切换
自动化微奈米子实时监控
比对良率&污染物关系
弹性检测排程自动预警
水洗制程（DI WATER）
蚀刻制程（金属蚀刻液）
脱膜制程 （剥膜液、脱膜剂）
微影制程 （铜酸、铝酸）
产品规格
量测范围 | 0.1 μm - 100 μm |
可容许误差范围 | 1200-40000 counts/ml @ 5% Coincidence Error |
校正 | 追溯至 JIS-B9925 |
通讯模式 | RS485/Modbus, 4~20 mA |
外箱 / 管路 / 取样界面 | 不锈钢 / PFA / 石英 |
LED灯指示 | 电源 / 故障 / 正常取样 / 异常警告 |
取样温度 / 压力 | 0-70 °C / 150 PSI |
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