Spin Processor匀胶旋涂仪SPIN150i _价格-北京汉达森机械技术有限公司

Spin Processor匀胶旋涂仪SPIN150i

参考价：¥5万

型号：

Spin Processor匀胶旋涂仪SPIN150i

产地：

德国

品牌：

评分：

产品详情

SPIN150i 和SPIN200i旋涂仪

产品描述：

德国POLOS系列匀胶旋涂仪提供了先进、精确、可重复的?工艺流程控制?方案。?一个?高效的空?气动?力学腔体确保旋涂的?高度均匀性，天然聚丙烯（NPP）或聚四氟?乙烯（PTFE）材质，整机?无?金属裸露，?无交叉污染，易清洗维护，为?用户带来全新的操作体验。操作控制器可拆卸，全尺?寸的触摸屏，可戴?手套操作，耐化学性。

技术参数：

型号	SPIN150i	SPIN200i
程序段数：	无限制	无限制
操作步数：	无限制	无限制
旋转速度：	0-12,000 rpm ±1rpm steps	0-12,000 rpm ±1rpm steps
旋转精度：	± 0.1 rpm	± 0.1 rpm
旋转方向：	顺时针、逆时针、交换摆动	顺时针、逆时针、交换摆动
醉大加速度：	30000 rpm/s	30,000 rpm/s
旋转时间：	无限制*, ± 0.1 seconds steps	无限制*, ± 0.1 seconds steps
基片范围：	160mm圆形或 4êo x 4êo 正方形	160mm圆形或 4êo x 4êo 正方形
腔体直径：	202 mm	302 mm
外形尺寸：	274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm	380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm

特征：

适用于大学的经济实惠的旋涂机

• 旋转处理器，用于清洁、干燥、涂覆、显影和/或蚀刻直径达160 mm/260mm的基材

• 天然聚丙烯（NPP）全塑料体系

• 用于手动或自动（可选）化学品分配的台式型号

• 透明盖子，带注射器支架，用于中央点胶

• 电磁安全盖锁

• 可拆卸控制器接口，易于集成

• N2扩散器用于工艺过程中的N2吹扫。

• 通过大型彩色触摸屏轻松、逐步地进行配方编程。

•无限的程序存储，用于食谱，具有多个步骤/每个步骤：

• 时间 0.1-99999 秒/步

• 转速 0-12，000 rpm**

• 旋转方向（连续、特定常规武器、水坑）

• 加速/减速 1-30，000 rpm/秒**，每步可选

• 真空开/关

• 3 个可编程干式触点：例如，用于自动控制点胶单元、氮气扩散器等。

• 结构化和密码保护的配方存储，便于安全管理

• 数字控制电机，带数字增量速度信号反馈

• 包括：（1）标准真空吸盘

• A-V36-S45-PP，?45 mm，适用于直径达? 6"的晶圆D-V10-S50-PP，适用于? 1/2"- ? 2"片和碎片的小碎片适配器（可选可选）

• 排水连接 1" 公头 NPT

• （排气软管可选）

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