型号: | Spin Processor匀胶旋涂仪POLOS 450 |
产地: | 德国 |
品牌: | |
评分: |
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Spin Processor匀胶旋涂仪POLOS 450
产品描述:
台面模型,独立版本,适用于直径达 450 mm 的基材,手动化学点胶,2 条自动静态点胶线,气动盖打开和关闭,卡盘适配器和一个真空吸盘,多可处理 3 个晶圆尺寸,速度醉大 1500 rpm,腔室醉大直径约 450 mm。
POLOS 450 旋涂机的典型应用:
ü 干燥
ü 冲洗/清洁
ü 自动涂布
规格:
桌面型号,独立版
适用于直径达 450 mm 的基材
手动化学点胶,2 条自动静态点胶线
气动盖子打开和关闭
卡盘适配器和一个真空吸盘,适用于多达 3 种晶圆尺寸
醉大转速 1500 rpm
箱体醉大直径约 450 mm
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