其他null检测 | 德国SPS(POLOS)旋涂机 SPIN150x参数-北京汉达森机械技术有限公司

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POLOS SPIN150x规格硬件

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配置单

德国SPS(POLOS) SPIN150x 多功能高质量的基底旋涂机
型号： SPIN150x

¥1.2万 - 1.3万
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POLOS SPIN150x

POLOS SPIN150x 是一种多功能、高质量的基底

旋涂机，由 NPP 制成。它专为研发和小批量生产

而设计。台式型号可手动或自动（可选）分配化学

品

POLOS SPIN150x腔体规格

外壳材质天然聚丙烯（NPP）

最大底物直径最大可用 6” (150 mm) 晶圆

最大可用 4” x 4” (100 mm) 底物

POLOS SPIN150x适用范围:

• 涂层

• 清洗冲洗/烘干

• 显影

• 刻蚀

• PDMI

• 其他程序

POLOS SPIN150x硬件规格：

液体过滤疏水阀

•

POLOS SPIN150x独特的外壳和排水管设计，可切换桌面和Indeck模式

用于注射器或喷嘴的中心注射支架

• 盖锁和真空传感器确保用户安全

• 大尺寸触摸显示屏（可拆卸）

• USB 端口，用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件

更新

POLOS SPIN150x驱动装置规格：

• 间接无刷驱动装置

• 转速高达 12.000 RPM（取决于底物/卡盘）

• 高加速度、高精度

• 加速/减速 1-30.000 RPM

• 顺时针、逆时针旋转和漩涡选项

POLOS SPIN150x规格硬件 SPIN150x：

液体过滤阱

独特的外壳和排水管设计，可在现场的桌面和甲板模型之间切换

用于注射器或分配喷嘴的中心注射支架

盖子锁和真空传感器，确保用户安全

大型（可拆卸）触摸屏显示器

USB 端口用于将配方存储在 USB 驱动器上并用于软件更新规范

驱动单元：间接无刷驱动单元 - 高达 12.000 RPM（取决于基板/卡盘）

高加速度和高精度

加速/减速 1 - 30.000 RPM

CW、CCW 旋转和水坑选项

免费卡盘和适配器：

1 x A-V36-S45-PP-HD - 真空吸盘

1 x D-V10-S50-PP-HD - 片段适配器

文献贡献者

北京汉达森机械技术有限公司

银牌会员丨第3年

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