型号: | AR-P 610系列 |
产地: | 德国 |
品牌: | Allresist |
评分: |
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英国Allresist 正电子束光刻胶 AR-P 610系列
描述
-电子束,深紫外光(248nm)
-最高分辨率,高对比度
-对玻璃、硅和金属有很强的附着力
-比PMMA敏感3-4倍
-敏感性可以通过软烤调整
-用于平面化和多层工艺
-温度稳定,可达240℃
-以甲基丙烯酸甲酯为基础的共聚物
甲基丙烯酸,安全溶剂1-甲氧基-2-丙醇
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