ZEP520A 电子束光刻胶

ZEP520A 电子束光刻胶

参考价：面议
型号： ZEP520A
产地： 日本
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深圳市科时达电子科技有限公司
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产品详情
超高分辨率电子束光刻胶：ZEP520A

特性

ZEP520A是一种有超高分辨率、耐干法蚀刻特性的非化学增幅（断链型）负性电子束光刻胶。是目前世界上性能最好的电子束光刻胶之一，其优良的性能在行业内受到广泛的认可。

电子束光刻胶产品表

电子束光刻胶专用显影液

  • Developer product lineup

旋涂曲线

Spin Curve

超高分辨率

ZEP520A分辨率高达 L/S＝25nm/25nm（FT=50nm）
显影液：ZED-N50

样品测评：用苯甲醚将ZEP 520 A-7稀释2.1倍



ZEP520A高解像性（2）



 


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