俄罗斯Optosystem CL7000 准分子激光器

俄罗斯Optosystem CL7000 准分子激光器

参考价：$20万
型号： CL7000
产地： 俄罗斯
品牌：
评分：
核心参数
深圳市科时达电子科技有限公司
银牌会员 丨 3年
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产品详情

俄罗斯Optosystem CL7000准分子激光器

特点

      1、陶瓷放电激光腔设计，长寿命
      2、激光腔，电子系统一体化设计
      3、功率稳定运行模式
      4、预混合供气，使用简单
      5、计算机控制



CL7000系列技术参数

型号

ArF

KrF

XeCl

波长

193 nm

248 nm

308 nm

管材料

陶瓷

预电离

火花

标准脉冲能量

250 mJ

400 mJ

300 mJ

平均功率
CL 7020
CL7050
CL 7100


5 W
10 W
20 W


8 W
20 W
35 W


6 W
15 W
25 W

最大重复频率
CL 7020
CL 7050
CL 7100


20 Hz
50 Hz
100 Hz

脉宽

17 ns

20 ns

20 ns

脉冲稳定度

sigma < 2%

光斑大小

6 x 20 mm

6 x 21 mm

7 x 22 mm

光束发散角

1.5 x 4.5 mrad

时间抖动

< 2 ns

尺寸, (重量)

1350L x 375W x 710H мм (170 kg)

冷却
CL 7020
CL 7050
CL 7100


风冷
水冷（水流< 1L/min）
水冷（水流< 3L/min）

功率
CL 7020
CL 7050
CL 7100


220V / 50Hz, 10А, 不超过1500 VA
220V / 50Hz, 10А, 不超过 1800 VA
380/220V, 50Hz, 10А, 不超过 3500 VA

气体

1 premix cylinder

控制接口

RS 232, DOS/Windows

 


 




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