德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备

德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备

参考价:¥60万
型号: PECVD
产地: 德国
品牌: Diener
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产品详情

该PECVD系统可以沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等。


主要技术参数:

PC控制软件

RF发生器 0~3000W 脉冲模式

腔体防腐处理,400*400*1500mm,240L

腔体加热80℃

带观察窗

多路工艺气体通道,MFC控制 防腐处理

HMDSO单体通道

易燃易爆气体安全阀

Gas Shower气浴电极

设备外尺寸2000*600*1700mm

进口真空泵组

电压 3项400V

深圳市科时达电子科技有限公司为您提供德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备,DienerPECVD产地为德国,属于进口化学气相沉积设备,除了德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多化学气相沉积设备,Kesda客服电话400-860-5168转4967,售前、售后均可联系。

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