德国尤尼坦 大尺寸快速退火炉- 适合光伏样品 VPO-300

德国尤尼坦 大尺寸快速退火炉- 适合光伏样品 VPO-300

参考价:¥30万 - 50万
型号: VPO-300
产地: 德国
品牌: 尤尼坦
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快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。

VPO-300是一款很有特点的快速退火炉,有非常大的退火空间,适合大尺寸样品的热处理。


仪器特点:

-  快速热处理、快速热退火  RTP / RTA;

-  可在真空、甚至于高真空环境使用;

-  加热区域尺寸:300毫米 X 300毫米;

-  广泛用于太阳能电池片快速退火工艺,如156mm X 156mm电池片,300mm X 300mm电池片等;


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