鑫南光 G-30D4型高精密单面光刻机

鑫南光 G-30D4型高精密单面光刻机

参考价：面议
型号： G-30D4
产地： 四川
品牌：
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核心参数
深圳市科时达电子科技有限公司
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G-30D4型高精密单面光刻机(图1)

G-30D4型高精密单面光刻机

产品介绍：

设备概述:

本设备为我公司专门针对各大、中、小型企业的使用特性而研发的一种高精密双面光刻机，它主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、声表面波器件的研制和生产,它具有生产效率高、结构简单、操作维护方便等优势，本机不仅适合4英寸以下各型基片的曝光，也适合易碎片如砷化钾、磷化铟等基片的曝光以及非圆形基片和小型基片的曝光。

主要构成


主要由防震工作台、LED专用曝光头、气动系统、电气控制系统、真空管路系统、直联式真空泵及附件箱等组成。

6a6ad472ed080c6ff8ed121abf83f671. 适用范围


Φ100mm以下，厚度(包括非圆形基片2. 结构


3. 操作简便


4. 设备运行稳定、可靠


5. 特设功能


 的基片造成的版片分离不开所引起的版片无法对准的问题

主要技术指标

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1、曝光类型：双面，一次同时曝光(配置4″LED专用曝光头)


2、曝光面积：110×110mm；

3、曝光照度不均匀性：≤±3%；

4、曝光强度：0～30mw/cm2可调；

5、紫外光束角：≤3?；

6、紫外光中心波长：365nm；

7、紫外光源寿命：≥2万小时；

8、工作面温度：≤30℃

9、采用电子快门；

10、曝光分辨率：2μm(曝光深度为线宽的10倍左右)

11、曝光方式：接触式曝光；

12、掩模版尺寸：≤127×127mm；

13、基片尺寸：≤ Φ100mm;

14、基片厚度：≤5 mm；

15、曝光定时：0～999.9秒可调；



深圳市科时达电子科技有限公司为您提供鑫南光 G-30D4型高精密单面光刻机，null G-30D4产地为四川，属于国产无掩模光刻机/直写光刻机，除了鑫南光 G-30D4型高精密单面光刻机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多无掩模光刻机/直写光刻机,Kesda客服电话400-860-5168转4967，售前、售后均可联系。

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