LSC-5000 (AD) 全自动兆声大基片湿法去胶系统

LSC-5000 (AD) 全自动兆声大基片湿法去胶系统

参考价：¥50万 - 80万
型号： LSC-5000 (AD)
产地： 美国
品牌： 那诺-马斯特
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核心参数
深圳市科时达电子科技有限公司
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产品详情

LSC-5000 (AD)全自动兆声大基片湿法去胶系统应用：

  • 光刻胶去除/剥离

  • 硅片

  • 蓝宝石片

  • 圆框架上的芯片

  • 显示面板

  • ITO涂覆的显示屏

  • 带保护膜的分划版

  • 掩模版空白部位

  • 掩模版接触部位

  • 带保护膜/不带保护膜的掩模版

LSC-5000(AD)全自动兆声大基片湿法去胶系统的特点：

  • 支持450mm直径的圆片或15”x15”方片

  • 带兆声、DI、刷子、热DI、高压DI、热氮、化学试剂滴胶臂的大腔体

  • 带化学试剂滴胶的刷子转速可调节

  • 带LABVIEW软件的PC全自动控制

  • 触摸屏用户界面

  • 机械手上下载片，带EFEM以及SMIF界面

  • 安全互锁及警报装置

  • 30”D x 26”W 的占地面积  

LSC-5000(AD)全自动兆声大基片湿法去胶系统选配项：

  • 化学试剂传输模块

  • Piranha溶液清洗                                       

  • 臭氧化DI水（20ppm的O3）

  • 氢化的DI水

  • 高压DI水

  • 热DI水

  • 溶剂和酸分离排放

  • IR红外加热

  • DI水循环机

  • 耐火立柜


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