型号: | AP200型 |
产地: | 韩国 |
品牌: | CTS |
评分: |
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韩国CTS公司的AP200型CMP抛光机是一款科研级的CMP系统,采用CTS公司工业级的设计理念,为科研工作者及先进制程开发公司提供了一套研究级别的高端设备,可兼容4寸,6寸,8寸样品。
第二、产品主要特色:
1、CMP抛光头:采用气囊加载模式,核心区,边缘区,保持环三区压力控制,可得到良好的工业级抛光效果;
2、自动上下片,自动抛光,干进湿出;
3、抛光垫修整器:摆臂式设计,由10个传感器分别控制10个区域的下压力,可保证抛光垫高水平修整;
4、抛光垫修整器:具有在线修整与离线修整两种模式;
5,工艺数据可实时监测;
6、可存储多个Recipe.
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