台式扫描电镜和透射电镜有什么区别？

安徽泽攸科技有限公司

2023/02/27 11:37

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台式扫描电镜和透射电镜有什么区别？台式扫描电镜和透射电镜有哪些相似点和不同点呢，今天泽攸科技小编就带大家简单了解一下。

一、扫描电镜和透射电镜设备的不同点：

台式扫描电镜使用—组特定的线圈以光栅样式扫描样品并收集散射的电子。

透射电镜是使用透射电子，收集透过样品的电子。因此，透射电镜提供了样品的内部结构，如晶体结构，形态和应力状态信息，而扫描电镜则提供了样品表面及其组成的信息。

二、台式扫描电镜和透射电镜操作上的差异

这两种电子显微镜在系统操作方式上也有所不同。sem扫描电镜通常使用15kV以上的加速电压，而透射电镜可以将其设置在60-300kV的范围内。

与扫描电镜相比，透射电镜提供的放大倍数也相当高:透射电镜可以将样品放大5000万倍以上，而对于sem扫描电镜来说，限制在1-2百万倍之间。

扫描电镜可以实现很大的视场，远大于透射电镜，用户可以只对样品的一小部分进行成像。同样，sem扫描电镜系统的景深也远高于透射电镜系统。

三、扫描电镜和透射电镜对样品的要求

1、扫描电镜对样品的要求

扫描电镜制样对样品的厚度没有特殊要求，可以采用切、磨、抛光等方法将特定剖面呈现出可以观察的表面就可以。这样的表面如果直接观察，看到的只有表面加工损伤，一般要利用不同的化学溶液进行择优腐蚀，才能产生有利于观察的衬度。不过腐蚀会使样品失去原结构的部分真实情况，同时引入部分人为的干扰，对样品中厚度很小的薄层来说，造成的误差更大。

2、透射电镜对样品的要求

由于透射电镜得到的显微图像的质量强烈依赖于样品的厚度，因此样品观测部位要非常的薄，例如存储器器件的透射电镜样品一般只能有10～100nm的厚度，这给透射电镜制样带来很大的难度。初学者在制样过程中用手工或者机械控制磨制的成品率不高，一旦过度削磨则使该样品报废。透射电镜制样的另一个问题是观测点的定位，一般的制样只能获得10mm量级的薄的观测范围，这需要在精确定位分析的时候，目标往往落在观测范围之外。目前比较理想的解决方法是通过聚焦离子束刻蚀(FIB)来进行精细加工。

上面几点内容就是泽攸科技小编给大家介绍的台式扫描电镜和透射电镜的几点区别。更多关于扫描电镜的问题您可以直接咨询18817557412(微信同号)。

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