方案摘要
方案下载| 应用领域 | 电子/电气 |
| 检测样本 | |
| 检测项目 | |
| 参考标准 | 痕量金属检测 |
痕量金属的检测和定量是半导体工业中的一个重要分析任务。 TOF-SIMS能够以同位素灵敏度检测所有元素（即使是轻质元素）。
案例一、痕量金属检测
 | 痕量金属的检测和定量是半导体工业中的一个重要分析任务。 TOF-SIMS能够以同位素灵敏度检测所有元素（即使是轻质元素）。 高质量分辨率，高质量精度和良好的信噪比可使灵敏度达到1E7至1E9 atoms/cm2。 该技术可应用于带图案的硅片，甚至硅片的背面，也不会降低灵敏度。 该技术通过使用外部标准进行定量，其准确度与其他技术（如TXRF或ICP-MS）相当。 |
| 如图所示硅片表面质谱的细节。高质量分辨率和准确度使得痕量金属可以明确被识别。 |
更多案例请参考我司官网：http://www.iontof.com.cn/bk_17198958.html
文献贡献者
应用案例——半导体材料行业（5）
应用案例——半导体材料行业（4）
应用案例——半导体材料行业（3）
相关产品
关注
拨打电话
留言咨询
