普通光学显微镜的光阑不容易受损和污染,所以光阑的寿命几乎是永久性的。但是扫描电镜的光阑不同,它需要经常清洗和更换。电子光学通道中的光阑在电子束的照射下,正是污染物最容易沉积的地方,由真空系统中的碳氢形成的聚合物慢慢沉积在光阑的表面,特别是光阑的上表面。物镜的光阑一旦受到污染,光阑孔的边缘受到污染物的堆积,使孔径变小,边缘又不整齐,从而使像散会随之加大,信噪比下降,分别力也会相应变差,对于钨灯丝电镜而言通常一年清洗2次,而加热型可变光阑通常是2年进行更换,光阑清洗后边缘会变钝,随意重复清洗往往都是1次,第二次就需要进行更换新的光阑了。
光阑清洗:
1. 对于光阑可用镊子夹住,在酒精灯火焰中灼烧,当它变为黄色时保持20-30s。
2. 也可以使用另外一种方法,使用等离子刻蚀的方法来进行处理,对光阑的表面的污染物进行刻蚀后,在使用离子溅射仪在其表面溅射一层铂金,以增加其导电性。
3. 对于光阑同样可以使用金属研磨膏进行擦拭,然后用红外烘烤灯进行烘干,趁热进行组装。
为了更好的延长光阑的使用寿命,应尽量减少电镜真空系统带来的污染。应定时对真空系统的真空泵进行更换机油,不同型号的电镜,其光阑的尺寸也有差别的,他们的主要作用都是用于遮挡掉那些非旁轴的杂散电子和限定聚焦电子束的发射角,使旁轴的电子能更好的汇聚成电子束,减小像差,让图像更清晰。
大束科技(北京)有限责任公司自主研发了电镜零部件,尤其是消耗型的部件都做到了国产化,例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等,可以完全替代进口产品。大束科技(北京)有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用,实现量产以后,在最极端的情况下,如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件,大束科技(北京)有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。
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