型号: | TC wafer |
产地: | 安徽 |
品牌: | 智测电子 |
评分: |
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TC WAFER 晶圆测温系统 半导体晶圆温度测温
TC-Wafer是将高精度温度传感器镶嵌在晶圆表面,对晶圆表面的温度进行实时测量。通过晶圆的测温点了解特定位置晶圆的真实温度,以及晶圆整体的温度分布,同还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化,获得升温、降温以及恒温过程期间的温度温度数据,从而了解半导体设备的温度均匀度。
- 传输通道数量可定制;
- 优异的软件功能,可用图形及颜色显示温度分布状况;
- 数据可储存调用;
- 可提供温度曲线图,方便直观的看到温度变化趋势
- 真空环境下,温度传感器保持高精度和良好的稳定性
TC-Wafer晶圆温度测量系统应用于许多行业,包括快速热处理 (RTP)、快速热退火 (RTA)、曝光后烘烤 (PEB)、化学气相沉积 (CVD)、物理气相沉积 (PVD)、ION 等应用注入、太阳能电池和许多其他热驱动工艺。智测电子具有高精度温度测量与控制技术和经验,支持产品定制
智测电子TC-WAFER晶圆测温系统是专为高低温晶圆探针台设计的,测量精度可达到mk级别,确保了测量结果的准确性和可靠性。系统不仅能够实现对晶圆特定位置温度真实值的多区测量,还能够精准描绘晶圆整体的温度分布情况,让您对晶圆温度变化一目了然,以便及时采取相应的措施。
同时,智测电子TC-WAFER晶圆测温系统还具备监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化的功能,确保了制造过程的稳定性。特别适用于半导体制造厂Fab、PVD/CVD 部门、RTP部门等场合,让您能够实时了解晶圆的温度情况,提高生产效率,降低不良品率。
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