用于高度校正的标准样品外型尺寸:5*5mm台阶高:20nm/100nm/500nm几何结构:台阶高度有20nm/100nm/500nm(三种规格),1x1mm的正方上每10μm间距有正方形柱子和洞,500x500μm的正方上每5μm间距有圆形柱子和洞,还有X、Y方向的直线结构。
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