CIF扫描电镜等离子清洗机

参考价：¥5万 - 10万

核心参数

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产品详情

CIF扫描电镜等离子清洗机

CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计，并可自动切换，一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。

产品特点

u 双等离子清洗源

u 一机多用

u 高效低损伤

技术参数

产品型号	CIF-SEM
法兰接口	KF40
工作气压	0.3-3Pa
等离子电源	13.56MHz射频电源，射频功率5-100W可调，自动匹配器
气体控制	标配双路50毫升/分气体质量流量控制器（MFC），精确测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响
气源选择	根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择
真空控制	美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计，测量范围1E-5Torr
真空保证	真空计和电磁阀安全互锁
操控方式	7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面
电源/功率	220V，50/60Hz，300W
可选配件	可选氧气、氮气、氢气发生器，氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-300ml/min
质量保证	二年质保，终身维护

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