型号: | ZT型-嵌套式双轴型-0.1角秒 |
产地: | 四川 |
品牌: | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
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高精度嵌套式双轴气浮转台,专为角度测量设计;
转台双轴采用超精密气浮轴承,提高了运动精度和超平滑率;
通过内、外轴同步运动与独立运动的组合,构成转台内部交叉自校准所需的所有运动模式,主要用于产生高精度角度与高稳定性角速度;
采用三组高精度光栅采集角度,每个光栅配多个读数头实现自校准,提高测角精度;
高可靠驱动控制系统,超高运动精度和运动速率稳定性;
实现深亚秒级静态角度和1ppm 稳定角速度生成;
各项参数可根据用户需求定制;
本单位承接0.1角秒至10角秒级各类高精度转台的定制开发。
序号 | 指标名称 | 技术要求 |
1 | 负载能力 | 内轴:10 kg、外轴:50 kg |
2 | 角位移误差(PV) | 内轴:0.2″、外轴:0.1″ |
3 | 角位移重复定位精度 | 内轴:0.1″、外轴:0.05″ |
4 | 回零误差 | 内轴:0.05″、外轴:0.03″ |
5 | 速率范围 | 内轴:0-100 r/min、外轴:0-2 r/min |
6 | 速率稳定性 | 优于0.1%(1°范围内)优于0.01%(10°范围内)优于0.001%(100°范围内)优于0.0001%(360°范围内) |
7 | 安装台面尺寸 | 476mm×476mm |
8 | 径向回转误差 | 内轴:50 nm、外轴:50 nm |
10 | 位置稳定时间 | 内轴:≤2s、外轴:≤2s |
11 | 转台台面 | 内轴:φ155 mm、外轴:φ320 mm |
12 | 安装方式 | 法兰安装或直接放置 |
13 | 选配 | 环境适应性设计 |
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