K&S ARIS系列主动减震台

K&S ARIS MD系列专为精密仪器设计的主动震动隔离系统，易与安装的流线型设计，更方便定位的独立支撑模块，安装过程无需复杂的调校。有工程师，物理学家及精密仪器领域内的知名专家顾问共同研发显著的降低了环境震动带来的干扰，使它成为精密仪器必不可少的配置。

应用方向：

用于降低或屏蔽地面附件的震动源

给仪器的影响，由4-6个独立主动减

震模块组成，进而屏蔽或减少地面

震动对扫描电镜性能的影响。提供

给扫描电子显微镜更出色的工作状态

及分辨率。

模块化的独立减震器负载可达300KG,

ArisMD300应用于精密仪器。

技术指标：

隔振性能: 8dB gain on 1Hz(60-70%)

20dB gain on 2Hz(≥90%)

隔振自由度： 6个自由度

响应时间： ≤0.01Sec

隔振性能： 0.5-100Hz

模块尺寸： 230×270×75mm

承载重量： 300-1200Kgd

模块数量： 1-8个

MD300独立模块负载达300Kg

仪器特点

•具有性能稳定高性能，低成本，免维护，易安装，结构简单可靠等优势。

•六个自由度主动隔振，高度低，重量轻，显著提高精密分析仪器性能。

•专利体系结构

•六自由度主动隔振

•高度低，体重轻

•无需后期校准

•提高显微镜性能和质量

•易于集成到SEM/TEM工作站环境

SEM/TEM显微镜主动隔振解决方案