半自动探针台

   MPI TS 2000(8寸)Wafer 测试系统

   MPI TS2000 是全球范围内成熟的探头系统的自然演变, 具有满足高级半导体测试市场要求的专用设计。该系统与所有 MPI 系统附件完全兼容, 主要用于解决故障分析、设计验证、IC工程、晶圆级可靠性以及 MEMS、高功率、射频和 mmW 设备测试的特殊要求.

   可用于环境和/或仅高温运行模式的 TS2000 速度快, 速度高达 10 Dies/second (取决于最终配置), 这使得它成为在离散 rf 器件上进行预生产电气测试的理想选择, 例如。

   探针座放置平台
   TS 2000 系列提供大型、易于访问的探针平台, 可容纳多达 12x DC 或4倍射频微定位器。

负载拉调谐器或更大面积的微定位器的集成使 TS 2000 系统成为射频和 mmW 测量的理想选择。

    样品chuck快速移动、装载

    较大的前门通道可方便地装载/卸载100、150、200 mm Wafer、晶圆碎片, 甚至小至 5x5 mm IC。

   AUX 卡盘都位于前面, 可以非常方便地加载/卸载。允许使用简单的射频校准和探头卡清洗自动化方法。

    测试控制面板

    智能硬件控制面板完全集成到探头系统中, 并基于数十年的经验和客户互动进行设计, 以提供更快、更安全、更方便的系统控制和测试操作。键盘和鼠标的位置, 以控制软件, 如有必要, 还将控制基于 windows®的检测。真空控制面板的晶片和 AUX 卡盘可以找到在右侧的前面, 以便于访问在装卸过程中。

  温控系统

  热卡盘 (从20°C 或环境到 300°C) 可通过使用完全集成的触摸屏显示屏进行操作, 该触摸屏放置在操作员前面的方便位置, 可实现快速操作和即时反馈。

   探头卡和微型定位器–
   同时多探头、4.5 "x 11" 探头卡的低姿态支架和较低的卡盘到卡盘距离是使用有源探头，是同时探测的理想选择, 使系统成为设计验证和/或故障分析工作的理想选择。

   屏蔽系统

?  TS 2000-D 是简单的 TS 2000 与已经集成的暗盒!

   该系统的占地面积、嵌入式联锁、Led 照明和各种测量仪器的标准化接口面板而设计, 是照明和激光安全防护测试环境的优先选择。

   从后面板轻松访问, 使重新配置或初始设置快速和非常方便。

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   仪器集成
   可选的仪器架减少了电缆长度, 并提高了射频和 mmW 应用中的测量动态和方向性。

   周边附件：

   CCD、防震平台、屏蔽罩、Laser mark、探针卡、BNC转接头、RF探针、有源探针、
高压探针、真空泵