| 型号： | CIF-TEM |
| 产地： | 河北 |
| 品牌： | CIF |
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CIF透射电镜样品杆清洗机
CIF透射电镜（TEM）样品杆清洗机采用双等离子清洗源设计，自动切换，一机多用，清洗快速高效。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。
产品特点
u 双等离子清洗源
u 一机多用
u 快速高效低损伤
技术参数
产品型号 | CIF-TEM |
真空泵 | 前级泵 抽气速率2L/s |
分子泵 分子泵抽速＞80L/s（N2) | |
极限真空：CF:5x10-6pa，ISO-K:3x10-5pa | |
入口法兰：DN100CF/DN100 ISO-K | |
等离子电源 | 13.56MHz等离子射频电源，射频功率5-120W可调 |
远程等离子源，自动匹配器 | |
清洗室 | 清洗室尺寸Φ180xH100mm |
清洗数量 | 可同时清洗3支TEM样品杆 |
适配品牌 | THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷欧路JEOL |
气体控制 | 标配单路质量流量计（MFC)可选双路，50毫升/分，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空控制 | 质量流量计（MFC),皮拉尼真空计， 测量范围1E-5Torr |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
电源 | 220V，50/60Hz，300W |
质量保证 | 二年质保，终身维护 |
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