韩国SEC扫描电子显微镜

1．分辨率： 15nm (30kV, SE Image)

          20nm (30kV, BSE Image)

2.放大倍率：20x~60,000x (有效放大倍率30,000x)

3.加速电压 :

1kV to 30kV (1/5/10/15/20/30Kv-6 step)

4观察图像：

二次电子图像

背散射电子图像(COMPO,TOPO)

二次电子和背散射电子双重像

二次电子和背散射电子合成像

5.观察模式: 标准观察模式及BSE+低真空观察模式

6.电子枪系统:

灯丝类型：预对中钨灯丝，带韦氏帽

偏压系统：自动偏压方式

   电子枪手动校正

7.透镜构成

i. 聚光镜 : 2段式磁线圈透镜

ii. 物镜 : 1段式磁线圈透镜

8.探测器类型

E-T Detector (SE) / Solid state (4channel-BSE)

9.载物台系统：3轴操控

载物台移动范围：X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360°

10.图像光斑调整最大进程: X, Y Image Shift 150?（±75）

11.样品最大尺寸 :

70mm*70mm* 30mm

图像扫描速度

1. 快速扫描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

2. 低速扫描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

3. 图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)

4. 图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

5. 图片模式3(Photo Mode 3): 5120x1920 (Scan time: 120sec.)

1. 自动功能

自动启动，自动聚焦，自动亮度对比度调节

2. 图像存储方式

   BMP, JPEG, PNG

3. 数据显示

   放大倍率，探测器类型，电压，真空模式，文本，标尺等

4. *真空系统

   全自动型/高者空模式+低真空模式(Multi mode)

-（旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min

-（涡轮式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec

抽真空

5. 操控系统：鼠标和快捷键双重支持

6. 运行系统：电镜专用台式电脑

-OS : Microsoft Window 7

-CPU : Intel Core^TM i5 or High version

-Memory / HDD : 4GB / 1TB

7. 软件：

-图像文件打开，编辑，存储功能

   -长度，面积，角度等测量功能

   -设置数值初始化，图像拍摄模式转换，Archives, Setting(EDS)模式等

8. 体积：

   设备主机-390(W)×640(D)×560(H)mm……1set

外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set

9. 重量：90kg