| 型号： | HM-Plasma5L |
| 产地： | 江苏 |
| 品牌： | |
| 评分： |
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技术部 黄经理
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工程部 陈经理
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设备型号：HM-Plasma5L
腔体材质：不锈钢。
供电电源：AC 220 V。
工作电流：1.2 A(不含真空泵)。
射频电源功率：0-300 W可调。
射频频率：40 kHz。
频率偏移量：小于0.2 kHz。
特性阻抗：50欧姆，自动匹配。
真空度：1-30 Pa。
气体路数：双路气体输入（可自动控制气体流量配比）。
气体流量：10-100 ml/min(可调)。
过程控制：PLC人机界面自动与手动方式，遥控、外接电脑控制方式可选。
清洗时间：1-6000 s可调。
刻蚀速率：1-10 nm/min。
功率大小 10%-100%可调。
内腔尺寸 直径150×270 mm (容积~5 L )。
外形尺寸：510×450×420 mm。
重量：45 kg。
真空泵：2XZ-4。
真空室温度：小于65°C。
冷却方式：强制风冷。
样品托盘：石英+不锈钢双托盘。
全套消音设备确保整机运行无噪声。
自动检测压力值与程序运行阶段，启动与终止表面活化过程。
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