Nikon NSR 1755/1505i7A/B
Nikon NSR 1755/1505i7A/B步进式光刻机
光源波长365nm
分辨率优于0.6µm
主要用于2寸、4寸、6寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
产品详情
主要技术指标
分辨率 | 0.6µm |
N.A. | 0.6 |
曝光光源 | 365nm |
倍率 | 5:1 |
最大曝光现场 | 15mm*15mm 17.5mm*17.5mm |
对准精度 | 140nm |
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