步进式光刻机

步进式光刻机

参考价:面议
型号: Nikon NSR 2005i9C
产地: 日本
品牌: NIKON
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Nikon NSR 2005i9C
Nikon NSR 2005i9C步进式光刻机
光源波长365nm
分辨率优于0.45µm
用于2寸、4寸、6寸、8寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
产品详情
主要技术指标

分辨率0.45µm
N.A.0.57
曝光光源365nm
倍率5:1
最大曝光现场20mm*20mm
对准精度

LSA:120nm
FIA:130nm



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