Nikon EX14C
Nikon EX14C步进式光刻机
光源波长248nm
分辨率优于0.25µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
产品详情
主要技术指标
分辨率 | 0.25µm |
N.A. | 0.6 |
曝光光源 | 248nm |
倍率 | 5:1 |
最大曝光现场 | 22mm*22mm |
对准精度 | LSA:55nm FIA:65nm |
更多服务
提供中英文软件及2"、4"、6"、8"设备硅片改造
常年提供所有备件、耗材
更多型号设备,欢迎致电或继续浏览我们的网站!
深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供NIKON步进式光刻机Nikon EX14C,NIKONNikon EX14C产地为日本,属于无掩模光刻机/直写光刻机,除了步进式光刻机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多无掩模光刻机/直写光刻机,客服电话,售前、售后均可联系。